优点:管理*,运转开始短时间内即可达稳定状态,不易为作业状态或作业人员所影响。乱流式缺点:构造费用较高,弹性运用空间困难,实验室免费设计,天花板之吊架相当占空间,维修更换过滤器较麻烦。复合式(Mixed Type)复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用,可提供局部**洁净之空气。(1)洁净隧道(Clean Tunnel):以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域**覆盖使洁净度等级提高至10级以上,实验室价格,可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离,以避免机器维修时影响工作及品质。ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点:A.弹性扩充*; B.维修设备时可在维修区轻易执行。
1.净化厂房墙、**板材一般多采用50mm厚的夹芯彩钢板制造,其特点为美观、刚性强、保温性能好、易施工。圆弧墙角、门、窗框等一般采用**氧化铝型材制造净化车间图片(7张)
2.地面可采用环氧自流坪地坪或耐磨塑料地板,有防静电要求的,实验室,可选用防静电型。
3.送回风管道用热渡锌板制成,贴净化保温效果好的阻燃型PF发泡塑胶板。
4.高效送风口用不锈钢框架,美观清洁,冲孔网板用烤漆铝板。
向有很高的要求。这里有必要先说明一下无窗洁净室的照明方式:(1)一般照明它指不考虑特殊的局部需要,为照亮整个被照面积而设置的照明。(2)局部照明这是指为增加某一地点(如工作点)的照度而设置的照明。但在室内照明由一般不单独使用局部照明。(3)混合照明这是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明,其中一般照明的照度按《洁净厂房设计规范》应占总照度的10%—15%,但不低干150LX。 单位被照面积上接受的光通量即是照明单位勒克斯(LX)。